|
|
MEMS microhotplate platform for chemical sensors
Vančík, Silvester ; Svatoš, Vojtěch (referee) ; Prášek, Jan (advisor)
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
|
|
|
Printed Biosensor Based on Organic Electrochemical Transistor
Omasta, Lukáš ; Mikula, Milan (referee) ; Boušek, Jaroslav (referee) ; Salyk, Ota (advisor)
Organické elektronické zariadenia sú vyvíjané ako vhodné riešenia senzorov pre bioelektroniku, a to najmä kvôli dobrej biokompatibilite organických polovodičov v nich použitých. Takzvané biosenzory dokážu premeniť elektrochemické procesy na elektronický signál. Matrica takýchto biosenzorov môže simultánne skenovať množstvo biologických vzoriek, alebo rôznych tkanív v živých systémoch. Aktívnou súčasťou zariadenia je organický elektrochemický tranzistor (OECT). V tejto práci je diskutovaný teoretický rámec fungovania takéhoto zariadenia, jeho elektrická charakterizácia, aplikácia v biosenzoroch na báze buniek, spôsoby výroby a aktuálnym stavom techniky v oblasti organickej elektroniky. Experimentálna časť obsahuje konkrétne výrobné postupy vývoja OECT zariadení, ktoré boli použité v našom laboratóriu. Hlavný dôraz sa kladie na schopnosť vyrobených zariadení detekovať reakciu a monitorovať stimuláciu elektrogenných buniek. Za týmto účelom boli vyvinuté matice mikroelektródových OECT zariadení založených na polovodivom polyméri PEDOT:PSS. Tieto boli vyrobené s využitím bežnými tlačiarenských techník (atramentová tlač a sieťotlač) spolu so štandardnými litografickými postupmi. Najnovšie nami vyvinuté zariadenia dosahujú najväčšieho zosílením signálu, g = 2,5 mS a časovú konštantu t = 0,15 s. Tieto zariadenia sú porovnateľné, často dokonca lepšie ako niektoré iné najmodernejšie a plne litograficky pripravené senzory.
|
|
|
The formation of trenches with a submicron width for advanced power semiconductor devices
Bolcek, Martin ; Jankovský, Jaroslav (referee) ; Szendiuch, Ivan (advisor)
This diploma thesis focuses on the optimization of photolithography process in the production of semiconductor devices. It contains theoretical basis of step by step photolithography process on a silicon substrate. It also describes metal-semiconductor contact and Trench Schottky Rectifier. The main goal of this thesis is design and optimization settings of photolithography process for the formation of trenches with a width of less than 0,5 µm. The new photolithography setup was verified across manufacturing process of trenches. The work was carried out in cooperation with ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o. in Roznov pod Radhostem.
|
|
|
The formation of trenches with a submicron width for advanced power semiconductor devices
Bolcek, Martin ; Jankovský, Jaroslav (referee) ; Szendiuch, Ivan (advisor)
This diploma thesis focuses on the optimization of photolithography process in the production of semiconductor devices. It contains theoretical basis of step by step photolithography process on a silicon substrate. It also describes metal-semiconductor contact and Trench Schottky Rectifier. The main goal of this thesis is design and optimization settings of photolithography process for the formation of trenches with a width of less than 0,5 µm. The new photolithography setup was verified across manufacturing process of trenches. The work was carried out in cooperation with ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o. in Roznov pod Radhostem.
|
|
|
Printed Biosensor Based on Organic Electrochemical Transistor
Omasta, Lukáš ; Mikula, Milan (referee) ; Boušek, Jaroslav (referee) ; Salyk, Ota (advisor)
Organické elektronické zariadenia sú vyvíjané ako vhodné riešenia senzorov pre bioelektroniku, a to najmä kvôli dobrej biokompatibilite organických polovodičov v nich použitých. Takzvané biosenzory dokážu premeniť elektrochemické procesy na elektronický signál. Matrica takýchto biosenzorov môže simultánne skenovať množstvo biologických vzoriek, alebo rôznych tkanív v živých systémoch. Aktívnou súčasťou zariadenia je organický elektrochemický tranzistor (OECT). V tejto práci je diskutovaný teoretický rámec fungovania takéhoto zariadenia, jeho elektrická charakterizácia, aplikácia v biosenzoroch na báze buniek, spôsoby výroby a aktuálnym stavom techniky v oblasti organickej elektroniky. Experimentálna časť obsahuje konkrétne výrobné postupy vývoja OECT zariadení, ktoré boli použité v našom laboratóriu. Hlavný dôraz sa kladie na schopnosť vyrobených zariadení detekovať reakciu a monitorovať stimuláciu elektrogenných buniek. Za týmto účelom boli vyvinuté matice mikroelektródových OECT zariadení založených na polovodivom polyméri PEDOT:PSS. Tieto boli vyrobené s využitím bežnými tlačiarenských techník (atramentová tlač a sieťotlač) spolu so štandardnými litografickými postupmi. Najnovšie nami vyvinuté zariadenia dosahujú najväčšieho zosílením signálu, g = 2,5 mS a časovú konštantu t = 0,15 s. Tieto zariadenia sú porovnateľné, často dokonca lepšie ako niektoré iné najmodernejšie a plne litograficky pripravené senzory.
|
|
|
Photolitography on flexible substrates
Urbánek, M. ; Urbánek, P. ; Kuřitka, I. ; Kolařík, Vladimír
Nowadays preparation of structures on flexible substrates is highly demanded because of using this patterns in field of flexible electronics. This contribution deals with photolitographic procces for preparation of structures on flexible substrates. The method of photolitography enables to create designed patterns in various material (e.g. metals as conductive layers) on various substrates (silicon wafers, foils, etc.). First the designed pattern is exposed through the mask by UV light into polymer resist, then the pattern is transfered into metal layer by wet etching through the developed windows in resist. In this paper several patterns are prepared through the positive resist PMMA by photolitography into various metal layer (Cu, Al) on flexible substrates.
|
|
|
MEMS microhotplate platform for chemical sensors
Vančík, Silvester ; Svatoš, Vojtěch (referee) ; Prášek, Jan (advisor)
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
|
|
|
Photolithographic technique for controlled fabrication of metal structures
Jusková, Petra ; Hegrová, Jitka ; Foret, František
We are describing two strategies for controlled (geometry and dimension) preparation of metal micro-nano structures. Both techniques are based on photolithographic processes with selective pattern transfer. First technique utilizes agarose gel containing photosensitive silver chloride as the photosensitive layer. Silver structures are formed after irradiation of the gel through the photolithographic mask which defines shape of the resulting structures. Second approach utilizes photolithographic process to form particles from vacuum deposited thin metal layer deposited over soluble sacrificial layer.
|
guest ::
